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2 槽型

目前線鋸機床常使用的導輪槽型為V型槽，角度為40°- 80°，槽深為180μm-250μm，但由于V型槽底部尺寸不易控制且形狀不規(guī)則，開始時鋼線不能到達槽底部，而是卡在中間，切割過程中，隨著鋼線在槽內高速運轉，由于摩擦作用，導輪槽底部磨損較快。當鋼線在V型槽內運轉時，鋼線也易在槽內左右晃動，鋼線跳動嚴重時，甚至跳出所在V型槽內到另外一個V型槽內，造成張力不穩(wěn)，切割出不合格的硅片，例如厚度偏差片、TTV超差片及鋸痕不合格片。由于V型槽導輪槽磨損較快，使用壽命較短，需要經常更換導輪，這會影響產能。

目前有一種新槽型是將圖1所示的V型槽變?yōu)閳D2所示的U型槽，槽底部圓弧半徑值為切割用鋼線的半徑值，槽的兩側壁仍為V型。由于在切割過程中鋼線會磨損，因此在導輪入線口與出線口位置的鋼線直徑不同（視切割的硅塊長度不同，約相差8-15μm，），需根據鋼線的磨損情況進行圓弧半徑值的補償，例如，鋼線初始直徑為130μm，切割至出線口時線損10μm，則出線口導輪直徑為120μm，而入線口與出線口之間的導輪槽底部半徑值則需要進行分段補償。這樣，導輪槽的底部直徑與鋼線的直徑相吻合，因此鋼線在槽內高速運轉時較穩(wěn)定，不會出現鋼線左右移動的情況，切出的硅片外觀質量良好，不會出現鋸痕或TTV超差片，提高了產品質量。與此槽型相匹配的兩側壁夾角范圍為45°-60°，槽深為180μm-200μm，角度與槽深的關系為：角度越小則槽深越深。當鋼線在新型槽內傳動時，導輪槽磨損程度減小，延長了導輪的使用壽命，避免頻繁更換導輪，提高了工作效率。