成熟女人色惰片免费,成年男人看片免费视频播放人,00超粉嫩福利小视频,色欲网天天无码AⅤ视频,国产真实乱对白精彩,一进一出又大又粗爽视频,国产古代一级a毛片

　7測量程序

　7.1測且環(huán)境條件

7.1.1溫度：18℃-28℃。

7.1.2濕度：不大于65％。

7.1.3潔凈度：10 000級潔凈室。

7.1.4具有電磁屏蔽，且不與高頻設備共用電源。

7.1.5工作臺振動小于0.5gn。

7.2儀器校正

7.2.1用一組厚度校正標準片（見5.2.5)置于厚度測量儀平臺或支架上進行測量。

7.2.2調整厚度測量儀，使所得測量值與厚度校正標準片的厚度標準值之差在2µm以內。

7.2.3以標稱厚度為橫坐標，測試值為縱坐標在坐標系上描點，通過兩個端點畫一條直線。在兩個端點畫出對應端點值±0.5％的兩個點，通過兩個＋0.5％和一0.5％的點各畫一條限制線（如圖5所示），觀察描繪的點都落在限制線之內（含線上），就認為設備滿足測試的線性要求。否則應對儀器重新進行調整。


7.3測量校準

7.3.1用一塊與被測硅片厚度相差50μm之內的厚度標準片，置于厚度測量儀平臺或支架上進行測量。

7.3.2調整厚度測量儀，使所得測量值與該厚度校正標準片的厚度標準值之差在2μm以內即可。

7.4測且

7.4.1分立點式測量包括接觸式與非接觸式兩種。

7.4.1.1選取待測硅片，正面朝上放人夾具中，或置于厚度測量儀的平臺或支架上。

7.4.1.2將厚度測量儀探頭置于硅片中心位置（見圖1)（偏差在±2mm之內），測量厚度記為ti，即為
該片標稱厚度。（采用接觸式測量時，應翻轉硅片，重復操作，厚度記為tl 7，比較ti與ti'較小值為該片標稱厚度值。）

7.4.1.3移動硅片，使厚度測量儀探頭依次位于硅片上位置2.3.45(見圖1)(偏差在±2mm之內），測量厚度分別記為t2、t3、t4、t5。

7.4.2掃描式測量

7.4.2.1采用非接觸式測厚儀。如果還未組裝，將與被測硅片尺寸相對應的基準環(huán)裝配在平板上以及裝上相應的定位器，限制環(huán)移動，檢查探頭應在遠離操作者位置（見圖4)。

7.4.2.2把試樣放在支承柱上，使主參考面與參考面取向線平行，被測硅片的周界應與最靠近探頭停放位置的兩個定位銷貼緊。

7.4.2.3將厚度測量儀探頭置于硅片中心位置1(見圖1)(偏差在±2mm之內），測量厚度記為t，即為該片的標稱厚度。

7.4.2.4移動平板上的基準環(huán)，直到探頭處于掃描開始位置為止。

7.4.2.5指示器復位。

7.4.2.6移動平臺上的基準環(huán)，使探頭沿曲線和直線段1-7掃描（見圖2)。

7.4.2.7沿掃描路線，以μm為單位，記錄被測量點上、下表面的各自位移量。對于直接讀數儀器，記錄成對位移之和值的最大值與最小值之差，即為該硅片總厚度變化值。

7.4.2.8僅對仲裁性測量要重復7.4.2.5-7.4.2.7操作達9次以上。

7.4.2.9放置基準環(huán)使探頭處于停放位置，然后取出試樣。

7.4.2.10對每個測量硅片，進行7.4.2.2-7.4.2.9的操作步驟。