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(2)入刀點(diǎn)薄厚：（在硅片上出現(xiàn)薄厚的位置通常為入刀點(diǎn)至向上延伸6mm的區(qū)域）a.工作臺(tái)墊板更換錯(cuò)誤。更換新導(dǎo)輪時(shí)，要根據(jù)導(dǎo)輪的直徑更換工作臺(tái)墊板（墊板厚度為305mm減去導(dǎo)輪直徑長(zhǎng)度），墊板厚度錯(cuò)誤會(huì)導(dǎo)致在設(shè)零點(diǎn)時(shí)，上工作臺(tái)的兩條晶棒與下工作臺(tái)的兩條晶棒距離線網(wǎng)高度不一致，導(dǎo)致入刀時(shí)線網(wǎng)不平穩(wěn)。

b.入刀階段砂漿流量大。由于入刀時(shí)鋼線處于不穩(wěn)定狀態(tài)，砂漿流量大會(huì)對(duì)線網(wǎng)造成沖擊，鋼線抖動(dòng)，產(chǎn)生入刀薄厚片。

解決措施：a.根據(jù)導(dǎo)輪直徑，更換厚度值相當(dāng)?shù)膲|板。

b.調(diào)整入刀階段砂漿流量工藝，控制好砂漿溫度和砂漿流量，減少對(duì)線網(wǎng)的沖擊力。

(3)硅片中部至出刀點(diǎn)薄厚：a.切割過程中，有碎片、碎導(dǎo)向條等雜質(zhì)混入砂漿中，隨著砂漿的流動(dòng)和鋼線的轉(zhuǎn)動(dòng)卷入導(dǎo)輪上的線網(wǎng)中，引起跳線和切斜，造成該區(qū)域的硅片中部至出刀點(diǎn)薄厚。

b.砂漿流量不合適。砂漿流量是否均勻、流量能否達(dá)到切割要求，對(duì)硅片切割起著關(guān)鍵性作用。若果切割過程中，砂漿流量時(shí)流時(shí)斷，則會(huì)造成切割力不均勻，導(dǎo)致產(chǎn)生薄厚片。

解決措施：a.開始切割前，將機(jī)床切割室內(nèi)的碎片清理干凈，更換切割室過濾網(wǎng)以及漿料缸內(nèi)的過濾桶、過濾袋等，保證機(jī)床潔凈度。
b.將切割室內(nèi)的漿料嘴清理干凈，打開砂漿，看漿料嘴噴出的砂簾是否完整無斷流。

(4)單片薄厚不均：a.鋼線張力異常，波動(dòng)較大。鋼線張力是硅片切割工藝的核心要素，切割過程中，收放線軸的鋼線都要保持一定的張力（通常0.12mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為22N-24N，0.13mm鋼線放線軸張力設(shè)定范圍為21N-23N），張力過大或過小都不利于懸浮在鋼線上的碳化硅顆粒進(jìn)入鋸縫進(jìn)行切割。鋼線張力正常波動(dòng)范圍為±1N。導(dǎo)致鋼線張力異常的因素有：氣缸漏氣，張力臂滑輪或切割室入線口滑輪晃動(dòng)或滑輪外套切偏。

b.導(dǎo)輪跳動(dòng)較大。一般地，導(dǎo)輪徑向跳動(dòng)＜30μm，軸向跳動(dòng)＜20μm，導(dǎo)輪跳動(dòng)過大則會(huì)引起線網(wǎng)抖動(dòng)，導(dǎo)致硅片薄厚不均。

c.機(jī)床水平問題。機(jī)床不水平，則會(huì)在切割過程中產(chǎn)生較大的震動(dòng)，從而導(dǎo)致線網(wǎng)抖動(dòng)。

d.導(dǎo)輪問題。主要出現(xiàn)在新導(dǎo)輪或?qū)л啿蹏?yán)重磨損的情況下，鋼線直徑和導(dǎo)輪槽根部直徑不能完全吻合。

解決措施：a.使用張力計(jì)對(duì)鋼線張力進(jìn)行校驗(yàn)，檢查氣缸漏氣情況、滑輪晃動(dòng)情況及滑輪外套磨損情況，出現(xiàn)異常及時(shí)更換。

b.每次更換導(dǎo)輪后，都要檢測(cè)導(dǎo)輪跳動(dòng)是否在正常范圍內(nèi)，如果不符合要求則要重新安裝導(dǎo)輪。

c.定期檢測(cè)機(jī)床水平，及時(shí)調(diào)整。

d.更換新導(dǎo)輪，切割第一鋸硅片之前，首先進(jìn)行空切操作，將鋼線張力設(shè)高以達(dá)到勒導(dǎo)輪的目的，使得鋼線可以和導(dǎo)輪槽根部完全吻合。對(duì)于磨損嚴(yán)重的導(dǎo)輪則及時(shí)進(jìn)行更換。

4 結(jié)語

通過對(duì)薄厚片的類型及產(chǎn)生原因進(jìn)行分析，可以更好地減少薄厚片的產(chǎn)生，提高產(chǎn)品的成品合格率。