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 TOPCon是一種基于選擇性載流子原理的隧穿氧化層鈍化接觸太陽(yáng)能電池技術(shù)，2013年由德國(guó)Fraunhofer太陽(yáng)能研究院首次提出。TOPCon電池結(jié)構(gòu)為N型硅襯底電池，在電池背面制備一層超薄氧化硅，然后再沉積一層摻雜硅薄層，二者共同形成了鈍化接觸結(jié)構(gòu)，有效降低表面復(fù)合和金屬接觸復(fù)合。計(jì)算表明，TOPCon電池效率極限28.7%，最接近晶體硅太陽(yáng)能電池理論極限效率29.43%。近年來(lái)， PERC作為行業(yè)主流產(chǎn)品，效率提升漸遇瓶頸，行業(yè)技術(shù)焦點(diǎn)正由P型轉(zhuǎn)向N型。較其他N型電池技術(shù)，TOPCon在現(xiàn)有PERC設(shè)備基礎(chǔ)上，修改部分工藝即可完成技術(shù)升級(jí)。因此，TOPCon因其低衰減、效率提升潛力大、產(chǎn)線升級(jí)成本低等優(yōu)點(diǎn)，被行業(yè)廣泛關(guān)注。自2020年起，晟成光伏開(kāi)始著手TOPCon電池核心工藝設(shè)備研發(fā)。本周，晟成光伏首臺(tái)TOPCon技術(shù)二合一鍍膜設(shè)備正式交付。

針對(duì)市面上其他TOPCon光伏電池背鈍化鍍膜設(shè)備的優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行深入分析，晟成光伏決定采用PECVD鍍膜與低損傷PVD鍍膜相結(jié)合的技術(shù)方式來(lái)制備TOPCon電池的背面隧穿二氧化硅膜層和摻雜非晶（碳化）硅膜層。該技術(shù)方式可以有效減少甚至避免目前行業(yè)內(nèi)LPCVD設(shè)備出現(xiàn)的繞鍍問(wèn)題，以及管式PECVD容易出現(xiàn)的爆膜、石墨舟壽命低及量產(chǎn)不穩(wěn)定的問(wèn)題，同時(shí)又可以進(jìn)一步規(guī)避采用大尺寸線性離子源依賴(lài)進(jìn)口、造價(jià)昂貴和膜層均勻性較差的問(wèn)題。
晟成光伏TOPCon技術(shù)二合一鍍膜設(shè)備，其低損傷PVD鍍膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以有效提高膜層的鈍化品質(zhì)，碳化硅膜層的加入可以減少長(zhǎng)波段光的吸收損失以及提高TOPCon電池的電流密度。同時(shí)，晟成光伏TOPCon技術(shù)二合一鍍膜設(shè)備的板式鍍膜結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具備產(chǎn)能高、鍍膜溫度低、膜層品質(zhì)優(yōu)異等特點(diǎn)，可兼容M2-M12不同尺寸的硅片，有效提升了TOPCon電池的良品率及量產(chǎn)平均轉(zhuǎn)換效率，并有助于降低生產(chǎn)能耗和設(shè)備硬件成本。

目前晟成光伏開(kāi)發(fā)的第一代TOPCon技術(shù)二合一鍍膜設(shè)備命名為晟曜系列，可以根據(jù)客戶(hù)產(chǎn)能需求定制不同型號(hào)規(guī)格。針對(duì)TOPCon技術(shù)二合一鍍膜設(shè)備可能出現(xiàn)的輕微繞鍍問(wèn)題，晟成光伏特別開(kāi)發(fā)了與之匹配的鏈?zhǔn)紹OE去繞鍍清洗設(shè)備，兩者配套使用，可使設(shè)備功能和生產(chǎn)成本達(dá)到最優(yōu)化。晟成光伏主要從事光伏行業(yè)智能化裝備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售及服務(wù)，公司業(yè)務(wù)已經(jīng)覆蓋國(guó)內(nèi)外所有主流光伏企業(yè)，在光伏組件自動(dòng)化產(chǎn)線細(xì)分領(lǐng)域市場(chǎng)份額排名第一。從組件裝備到電池裝備，從自動(dòng)化裝備到核心工藝裝備，晟成光伏向前邁進(jìn)的每一步都堅(jiān)定穩(wěn)健。此次TOPCon技術(shù)二合一鍍膜設(shè)備交付，再一次證明了晟成光伏的技術(shù)創(chuàng)新能力。截止目前晟成光伏在TOPCon、HJT、鈣鈦礦等高效電池及組件裝備領(lǐng)域均有先進(jìn)技術(shù)儲(chǔ)備以及實(shí)際產(chǎn)品銷(xiāo)售。

未來(lái)晟成光伏將繼續(xù)致力于加速光伏行業(yè)全產(chǎn)業(yè)鏈智能化進(jìn)程，讓光伏制造更高效、更安全、更輕松，為光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)的裝備力量，為全球新能源發(fā)展注入更多“智造”動(dòng)能。

原文章：晟成光伏首臺(tái)TOPCon技術(shù)二合一鍍膜設(shè)備成功交付